『はじめての半導体計測★ビギナーズブックス★水野 文夫★株式会社 工業調査会★絶版★』はセカイモンで4c0e963ed96b1fから出品され、374の入札を集めて04月18日 22時 46分に、11747円で落札されました。即決価格は11747円でした。決済方法はに対応。岡山県からの発送料は落札者が負担しました。PRオプションはストア、取りナビ(ベータ版)を利用したオークション、即買でした。
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水野 文夫 (著) 株式会社 工業調査会 ★絶版本★ 2008/3/25 初版1刷発行 中古品です。
内容(「BOOK」データベースより)
計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT(情報技術)時代・ユビキタス社会(どこにでもコンピュータが存在する社会)を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。
著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
水野/文夫
明星大学・理工学部教授、工学博士、技術士(電気電子)。1970年、名古屋大学大学院・電子工学専攻・修士課程修了、(株)日立製作所勤務を経て2001年より明星大学に勤務。1995年R&D 100 Award(USA)、1996年市村賞受賞(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
目次
第1章 計測(計測とは
計測の機能
計測の性能
トレーサビリティ)
第2章 半導体計測(半導体計測の種類
半導体計測の特徴
半導体計測の手法)
第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測
微粒子・パターン欠陥の検査
膜厚の測定
ウエーハ表面汚染物質の分析
補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)
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書き込みや線引き等を事前にチェックしておりますが、もし多少の見落としがございましてもご容赦下さい。中古品であるということをご理解の上、ご入札ください。
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落札金額+送料=お支払い金額となります。入金いただいた金額が不足している場合、商品を発送することができません。(振込み手数料、かんたん決済手数料はお客様ご負担となります。)現金書留、着払い、代金後払い、代引き発送は対応出来ません。手渡し不可。切手や商品券での支払いは一切受け付けておりません。早期終了・価格交渉には応じられません。
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(領収書発行可能です。領収書が必要の際にはご入金前にお申し付け下さい。)
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